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    全自動四探針測試儀 型號:RR11-FT-3110B

    全自動四探針測試儀 型號:RR11-FT-3110B

    簡要描述:
    全自動四探針測試儀 型號:RR11-FT-3110B

    適用范圍
    晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量;選擇性發射極擴散片;
    表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;電極設計,如電鍍銅電阻測量等;
    規格型號 FT-3110B(可擴展)
    1.方塊電阻 10^-6~2×10^5Ω/□
    2.電阻率 10-7~2×106Ω-cm

    產品時間:2025-07-02

    訪問量:1174

    廠商性質:生產廠家

    生產地址:

    品牌其他品牌

    全自動四探針測試儀 型號:RR11-FT-3110B

    功能介紹
    四點探針法、全自動化運行測量系統
    PC軟件采集和數據處理、ASTM方法
    測量電阻率、方塊電阻、厚度
    可調探針壓力、測試點數、多種模式
    顯示2D,3D掃描/數值圖、溫濕度值
    提供標準校準電阻件、數據統計分析

    全自動四探針測試儀 型號:RR11-FT-3110B

    適用范圍
    晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量;選擇性發射極擴散片;
    表面鈍化片;交叉指樣PN結擴散片;電極設計,如電鍍銅電阻測量等;
    規格型號 FT-3110B(可擴展)
    1.方塊電阻 10^-6~2×10^5Ω/□
    2.電阻率 10-7~2×106Ω-cm
    3.測試電流 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
    4.電阻精度 ≤0.3%(標準電阻)
    5.PC軟件操作 PC軟件界面:電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等
    6.壓力范圍 探針壓力可調范圍:100-500g
    7.探針 鎢鋼材質,探針間距1mm;機械游移率:≤0.3%;其他規格可定制
    8.載臺類型及尺寸選購 選購1:圓形載臺晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm)
    選購2:方片載臺尺寸:153mm*153mm范圍內定制規格
    9.分析模式 單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試
    10.重復性 單點重復性:重復性≤0.5% 
    11.防護功能 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
    12.電源 輸入: AC 220V±10%.50Hz, 功 耗:<600W

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